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低温真空探针台价格
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供应分类:河南电子、电工 > 郑州送话器
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近年来,非制冷红外焦平面探测器因其优越的性能而受到重视。随着其广泛的应用,各领域对非制冷红外焦平面探测器性能的要求也不断提高。在外界需求的刺激之下,非制冷红外探测器从几十年前的诞生到目前的广泛应用,经历了无数次的改进和性能的提高。与此同时,对探测器研究的低成本要求,使探测器的封装成本也成为了必须考虑的因素。所以,封装前的选片测试成为了一个研究热点。本文正是基于此热点展开的研究,在分析非制冷红外焦平面探测器测试技术的国内外发展以及研究动态之后,提出了一套基于真空探针台的红外探测器自动测试的方案。该自动测试系统可对非制冷红外探测器芯片的各项参数进行测试,并在高真空的条件下完成芯片的响应率测试,从而对芯片的性能进行评估,为非制冷红外探测器芯片的封装提供选片依据。本论文的主要研究内容包括三个方面。
(1)硬件测试电路的设计:该部分主要为芯片的测试提供驱动电压和时序激励,同时完成像元响应电压信号的采集与处理,同时在数据采集部分设计有单端转差分网络,消除共模噪声的同时还可以增强模拟电压信号的驱动能力。
(2)真空探针台探针卡的设计:对于不同阵列的探测器芯片,本文中设计有与之相对应的测试探针卡,同时将偏置电压的产生电路直接集成于测试探针卡上,偏置电压可通过探针直接偏置到芯片上,避免模拟信号传输过程中受到的干扰。
(3)测试系统自动控制的实现:本设计基于VC++的开发平台,通过RS232协议控制真空探针台和基于FPGA的测试电路模块,并使用Matlab完成测试数据的处理和分析,最终实现对320×240和384×288系列芯片的自动选片测试。该自动测试系统实现了对非制冷红外探测器芯片晶圆和单片的自动测试,通过响应率、噪声等相关参数的测试结果完成对被测芯片整体性能的评估,并将测试结果以测试报告和wafermap的形式展示出来。此测试结果作为封装之前芯片选片的重要依据,极大的缩小了红外探测器的测试时间和封装成本。
KT-Z1604T探针台主要应用于传感器,半导体,低温真空探针台价格,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,郑州科探仪器设备有限公司,科探仪器,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60x60不锈钢台彳面,台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴廾移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-20mm;z方向调节范围:0-20mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,低温真空探针台价格,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测
腔体材质 :304不锈钢
上盖开启 :铰链侧开
内腔体尺寸: φ140x180
加热台材质 :304不锈钢
观察窗尺寸 :φ75
加热台尺寸 :50x50
加热台温度 :室温-350℃可调
加热台温控误差: ±1℃
真空度 机械泵;≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽气口 :KF25
气体进气口 :3mm-6mm卡套接头
进气阀门 :高精密针阀
抽气阀门 :KF25真空挡板阀
压力表 :机械压力表 -0.1-0.15mpa
信号电极 ;4个
探针数量 :4个
探针材质 :φ1.5钨针 其他材质可选
探针移动平台
X轴移动行程 :30mm ±15mm
X轴控制精度 ;≤0.1MM
Y轴移动行程 ;13MM ±6.5mm
Y轴控制精度 ;≤0.05MM
Z轴移动行程 :13mm ±6.5mm
Z轴控制精度 :≤0.05MM
信号电极
电极芯 1芯
电极引出接头 ;BNC母头
电极引出线 :铜网信号屏蔽线
BNC引出接头 X4
额定电流 ;≤5A
额定电压 ;≤220V
电极芯直径 ;φ1mm
接触电阻 :≤5MΩ
绝缘电阻 :≥1000 MΩ
外壳接地; 是
电子显微镜
电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通
做气体传感器的客户可以选择本公司的多通道智能气体配比系统
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