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肇庆净化车间设计方案,君信达设计方案,满意100
更新时间:2015-11-06
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产品分类:广东环保 > 广东净化装置
发布企业:深圳市君信达
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肇庆净化车间设计方案,君信达设计方案,满意100%
君信达洁净工程-洁净车间如何对湿度进行控制的
功能介绍 10级-10万级洁净室系统工程,恒温恒湿系统及自控工程,中央空调系统工程,工艺管道系统工程,防静电系统工程,净化设备等
湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件,相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。 半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 近年,在这些规定范围中保持处理空气过程,相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括: 1、细菌生长; 2、工作人员感到室温舒适的范围; 3、出现静电荷; 4、金属腐蚀; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。 细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。 相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷,而湿度低于30%则会让人感觉干燥,皮肤破裂,呼吸道不适以及情感上的不快。 高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但是当相对湿度小于30%时,它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。 相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中,半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。 很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。 在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。 到目前为止,在半导体无尘车间、洁净室中最迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是最严格的水准。 实际上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2A。 此外,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。
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目工厂设有蒸汽及热水锅炉,所以新风加热采用电加热,选用不锈钢
电热管分 三档加热,净化车间,无尘车间,净化工程。根据测试情况最好分成五档以便于根据室外度变化来运行,净化车间,无尘车间,净化工程。采用超声波工业加湿器,净化车间,无尘车间,净化工程。由于超声波工业加湿器加湿降加湿段短平安可靠节水节能等特点
所以选用超声波工业加湿器加湿,净化车间,无尘车间,净化工程。水质要求,净化车间,无尘车间,净化工程。超声波工业加湿器加湿要求水质可为自来水(饮用水)由于冬季空气需冷却,同时由于本项目无蒸汽可利用,净化车间,无尘车间,净化工程。为 减少冷却空气时湿
建议冬季加湿季节冷冻水采用,量损失,净化车间,无尘车间,净化工程。防止湿度散失,净化车间,无尘车间,净化工程。结论:本工程由于没有锅炉蒸汽供应并且空气用户机内无法增加加湿器,采用新风加湿方式 新增超声波加湿机,净化车间,无尘车间,净化工程。经运行
为稳定保证在室外,试验初步结果证明可提升车间相对湿度,净化车间,无尘车间,净化工程。相对湿度(保证车间度为,相对湿度在根据该车间 测试结果经上述改进后,第一第二车间已于年月相继改造完
并已投入使用,成,净化车间,无尘车间,净化工程。取得较好效果,净化车间,无尘车间,净化工程。电子车间增湿系统推荐:超声波加湿器 次试谈机房专用空调 与舒适性空调在机房应用上的性能差别摘要:针对通信机房对工作环境要求的特
从空调设备的技术特性,点,净化车间,无尘车间,净化工程。使用可靠性,应用效能等方面进行分析比拟,指出 机房专用空调与舒适性空调在应用上存在较大的差别性,提出正确合理配置空调机组的重要性,并
同时装置加湿器;二是采用机房专用空调,净化车间,无尘车间,净化工程。目的都是说明了机房专用空调在通信机房建设中更具有重要的应用价值,净化车间,无尘车间,净化工程。一引言 当前通信机房有两种配置:一是使用多台舒适性空调,净化车间,无尘车间,净化工程。
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