螺杆真空泵选型金属密封法兰的常见形式

首先是平面法兰密封。

平面法兰密封是金属密封法兰形式中最简单的一种，常用材料包括铝、铜、金等。这种法兰形式密封没有配合问题，而且表面粗糙度容易达到，缺点就是密封圈的定位问题不容易解决，另外接触面需要很大的密封力，一般只适用于小直径的法兰连接密封。

第二，直角形密封。

直角形密封也被称为L形密封。密封台阶间隙0.025mm，以保证密封圈受压后呈L形。下法兰台阶利用O形圈定位，表面粗糙度由于Ra1.6，O形圈压缩量为50%，常用O形圈金属丝直径有0.5、0.6、0.8、1以及1.5毫米5种。

第三，刀口密封。

刀口密封的密封圈为0.5mm的环形铜片或铝片，密封力为280MPa，耐450℃烘烤，可承受多次加热——冷却循环而不漏气，但配合要求精度高，只用于小尺寸法兰密封。

第四，斜楔密封。

斜楔密封的刀口角度为70°，高度为1～1.5mm，深度公差±0.075～0.1mm，刀尖圆角半径为0.1mm，刀口直径误差为0.05mm，垫圈材料为宽6mm、厚2～3mm的无氧高导铜。采用这种密封结构的真空系统，经250℃、5小时高温烘烤后，可使真空系统获得2.6×10^-9Pa的真空度。

第五，台阶密封。

台阶密封是利用两直角的剪切力剪切出新鲜金属面形成密封。两直角的剪切分相叠结构与相隔结构。垫圈材料为无氧高导铜，厚度1～3mm。制作时在950℃的烧氢炉中退火处理，可在450℃温度下反复烘烤使用。上下两直角公差较大，没有配合问题，加工容易。

除了这几类常见的金属密封法兰形式外，还有圆锥端面密封、铝箔密封、惠勒密封等形式。

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