激光细孔加工激光细孔加工厂质量可靠费米供

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更新时间：2016-08-01
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产品分类：上海机械及工业制品 > 上海激光
发布企业：上海费米激光科技有限公司
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详细介绍

激光细孔加工厂家激光细孔加工厂质量可靠费米供产品特点： 1. 采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级热影响区； 2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精密加工； 3. 通过微米级高速直线电机平台平移实现大幅面微加工； 4.Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构蚀刻要求； 5. 旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正，以及超高精度的对焦，保证系统长期使用稳定性和精度； 6.在线检测激光加工的效果，快速优化加工工艺； 7. 系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。用于大幅面微结构加工，可加工金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料，实现盲孔、通孔、开槽、切割等。费米激光提供的激光微小孔加工设备，最小加工微孔孔径（线宽）5μm，整体加工精度最高±2μm，局部特征精度＜2μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。

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